Масс-анализатор qMass
Описание
Квадруполный масс-анализатор остаточных газов qMass 100, qMass 200, qMass 300 являются электронными приборами для проведения исследовательских мероприятий.
Назначение
Использование qMass позволяет проводить аналитические процедуры в вакуумных системах, направленные на определение остаточных газовых компонентов.
Устройство и работа масс-анализатора
Структурно анализатор состоит из:
- ионизационного узла,
- фильтра масс квадрупольного типа,
- детекторного узла.
Все эти элементы размещены в цилиндрическом кожухе из нержавеющего стального сплава. Его конструкция обеспечивает простоту и быстроту сборки после очистки.
Блок управления содержит электронную схему, управляющую функционированием головки анализатора. Он оснащен точечными светодиодными индикаторами, отображающими рабочие параметры:
- электронного делителя,
- нити накаливания,
- электросхемы,
- датчика.
Нить накаливания имеет двойную структуру, обеспечивающую ей повышенную долговечность.
Электронный умножитель диодного типа имеет конструкцию, аналогичную цилиндру Фарадея.
Для связи с компьютером используется интерфейс RS-232.
Встроенное ПО позволяет проводить:
- анализ аналогового и гистограммного типа,
- выявление утечек,
- настройку параметров датчика.
В результате достигается легкость интеграции результатов измерений в стороннее ПО.
Характеристики
Физические рабочие свойства |
Численные показатели |
Измерительный интервал по массе |
(1÷100)amu масс-анализатор qMass 100 (1÷200)amu масс-анализатор qMass 200 (1÷300)amu масс-анализатор qMass 300 |
Измерительное разрешение по массе |
|
Чувствительность (A/Torr) |
0,0002 (FC)
|
Нижний предел регистрируемого парциального давления |
50 pTorr (FC) 0,05 pTorr (EM) |
Нижний предел рабочего давления |
0,1 mTorr (FC) 1000 mTorr (EM) |
Верхний предел рабочего давления |
UHV |
Верхний предел рабочей температуры |
+70 °C |
Температура нагрева |
+300 °C |
Мощность нити накала ионизатора |
(1÷10) Вт |
Энергия электронов ионизатора |
(25÷105) В |
Энергия ионов ионизатора |
(8/12) В |
Напряжение фокусировки ионизатора |
(0÷150) В |
Ток эмиссии электронов ионизатора |
(0÷3,5) мА |
Размер датчика |
8,75'' |
Расстояние вхождения датчика |
2'' |
Крепеж датчика |
2,75'' CF |
Нижний предел внутреннего диаметра трубки |
1,375'' |
Размер блока управления |
(3,1х4,1х9,1)'' |
Длительность разогрева |
0,5 часа |
Нестабильность по массе после разогрева |
±0,1 amu |
Питающее постоянное напряжение |
24 В |
Сила потребляемого тока в работе |
2,5 Ампера |
Вес одного анализатор |
2,72 кг |
Комплектация
Стандартная комплектация прибора qMass содержит:
- квадрупольный анализатор,
- управляющий электронный модуль,
- программное обеспечение.
По предварительному заказу могут быть предоставлены:
- нагреватель до +200°C,
- удлиняющий кабель (4,5''),
- резервный электронный умножитель,
- резервная нить ионизатора,
- резервный ионизатор.
Модификации
По требованию заказчика прибор может быть укомплектован:
- электронным умножителем (EM),
- встроенным блоком питания,
- выходом для счета ионов (допустима установка только при наличии электронного умножителя).